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兆頻超聲清洗技術（Megasonics）：頻率革命：將超聲頻率從傳統40kHz提升至950kHz，消除空化效應引發的微損傷（Cavitation Damage），使顆粒去除效率（PRE）提升3倍。能量聚焦：通過壓電換能器陣列實現聲場均勻分布，在30℃條件下即可完成0.1μm顆粒的高效剝離。

兆頻超聲清洗技術（Megasonics）工藝優勢：化學品用量減少50%，適用于先進邏輯器件的接觸孔清洗。與SC-1/SC-2藥液兼容，在DRAM電容節點清洗中實現>99.9%的顆粒去除率。